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TKF超高纯在线高流量气体过滤器

TKF超高纯在线高流量气体过滤器316 L不锈钢结构、高温动态压力应用、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准、100%氦泄漏试验;应用于半导体行业。
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  • 品    名:在线高流量气体过滤器


    品    牌 :  TKF


    阀体材质:316L不锈钢

     

    产品信息:

    1、316 L不锈钢结构;


    2、高温动态压力应用;


    3、体积小,冲击或振动可靠性高;


    4、宽范围流量从30到120 SLPM;


    5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性;


    6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降;


    7、5ra电抛光表面防止内部污染;


    8、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准;


    9、100级制造、清洁及包装环境;


    10、100%氦泄漏试验;


     

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