TKF超高纯在线高流量气体过滤器
TKF超高纯在线高流量气体过滤器316 L不锈钢结构、高温动态压力应用、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准、100%氦泄漏试验;应用于半导体行业。
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品 名:在线高流量气体过滤器
品 牌 : TKF
阀体材质:316L不锈钢产品信息:
1、316 L不锈钢结构;
2、高温动态压力应用;
3、体积小,冲击或振动可靠性高;
4、宽范围流量从30到120 SLPM;
5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性;
6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降;
7、5ra电抛光表面防止内部污染;
8、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准;
9、100级制造、清洁及包装环境;
10、100%氦泄漏试验;
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