TKF超高纯内插式不锈钢气体过滤器SS-C系列

品   名：内插式气体过滤器
品   牌 :  TKF
阀体材质：316L不锈钢

特征：

1、316 L不锈钢结构；

2、高温动态压力应用；

3、适用于高流量应用；

4、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；

5、3纳米颗粒过滤性能保持较高的流动效率和最小的压降；

6、5ra电抛光表面防止内部污染；

7、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；

8、100%氦泄漏试验。