配气柜(Gas Box)是半导体工艺设备的核心子系统，也是半导体供气系统关键组成部分，其核心功能在于实现工艺气体的精密控制与安全防护。
配气柜通过集成截止阀(手动/气动)、逆止阀、质量流量控制器(MFC)、压力调节控制器、高精密过滤器及特殊密封组件，构建起多重安全保障体系。
在工艺执行中，该系统可精准调控气体流量、压力、浓度、混合比例及反应时间等关键参数，同时满足半导体制造对超净环境、材料耐蚀性和介质安全性的严苛要求，有效防范毒性/可燃气体泄漏风险。

LANTO配气柜有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

LANTO阀门分配箱为气体系统提供安全可靠的分配点。
VMB：采用全封闭箱体结构，配备排风设施(如抽风管)以维持柜内负压，有效防止气体泄漏扩散，适用于高危险性环境。专用于输送有毒、易燃易爆或腐蚀性气体(如SiH4、CL2、NH3)。
VMP：为开放式面板或盘面设计，无外壳密封，结构更紧凑。适用于惰性气体(如N2、Ar)或非危害性气体。

LANTO超高纯阀门分配箱 / 阀门分配盘有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

GR特气架(Gas Rack)是专为半导体生产、光伏、生物医药等高纯气体供应系统设计的设备，主要用于实现气瓶与工艺设备之间的气体输送中转。
特气架的主要功能是安全存储气体钢瓶，并通过内置的气路系统将气体输送到使用点，同时具备吹扫、抽真空、排气等功能，确保气体供应的纯净度和安全性。
特气架的设计通常包括气瓶固定装置、气路控制系统、压力表等部件，以满足不同气体的存储和使用需求。

LANTO特气架有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

特气柜系统是一种用于安全存储特种气体钢瓶，并将适当体积和压力的特种气体输送到分配系统(VMB和VMP)或主设备(POU、使用点)。
其高度灵活性以及多种连接选项，使其广泛应用于半导体、平板显示(FPD)、LED、新材料、太阳能电池制造工艺的系统。

LANTO特气柜系统有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

型号：LT1300-SS-EP-2PW-04F-04F
最大进口压力：300 psig （ 21 bar ）
阀体材质：316L、316L VAR，316LVIM-VAR 可选。内部容积小。
密封方式：金属隔膜密封
内表面粗糙度：可达Ra 5uin
流量系数Cv：1.1
最大流量：1000 SLPM
氦检：每个产品出厂都经过氦气泄露测试。
应用：专为满足半导体行业高纯度应用而清洗，组装和包装。

LANTO超高纯减压阀有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

型号：LT1210-SS-EP-2PW-08F-08M
最大进口压力：3500 psig （ 240 bar ）
阀体材质：316L、316L VAR，316LVIM-VAR 可选。内部容积小。
密封方式：金属隔膜密封
内表面粗糙度：可达Ra 5uin
流量系数Cv：0.9
最大流量：SF:800 SLPM、HF:1000 SLPM、FC:1500 SLPM
氦检：每个产品出厂都经过氦气泄露测试。
应用：专为满足半导体行业高纯度应用而清洗，组装和包装。

LANTO超高纯减压阀有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

型号：LT1101-SH-EP-2PW-04M-04M
最大进口压力：300 psig （ 21 bar ）
阀体材质：316L、316L VAR，316LVIM-VAR 可选。内部容积小。
密封方式：金属隔膜密封
内表面粗糙度：可达Ra 5uin。
流量系数Cv：0.05
最大流量：500 sscm
氦检：每个产品出厂都经过氦气泄露测试。
应用：专为满足半导体行业高纯度应用而清洗，组装和包装。

LANTO超高纯减压阀有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

型号：LT1015-E-SS-EP-2PW-04F-04F
最大进口压力：3500 psig （240bar）
阀体材质：316L、316L VAR，316LVIM-VAR 可选。内部容积小。
密封材料：金属隔膜
内表面粗糙度：可达Ra 5uin。
流量系数Cv：0.09 和 0.15
最大流量：标准30SLMP；高流量HF：120SLMP
氦检：每个产品出厂都经过氦气泄露测试。
应用：专为满足半导体行业高纯度应用而清洗，组装和包装。

LANTO超高纯减压阀有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。

型号：CW6L-04F-EP
最大工作压力：3000 psig （207bar）
阀体：全焊接设计，内部无螺纹结构。当压差大于2 psiq (0.14 bar)时即可产生正向流动。
材质：316L、316L VAR，316LVIM-VAR 不锈钢阀体材料。
内表面粗糙度：可达Ra 5uin。
端接：VCR内外螺纹、卡套接头、卡套管对焊等多种端口形式可选。
氦检：每个产品出厂都经过氦气泄露测试。


BYLOK超高纯过滤器有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。