日本KOFLOC3200高档质量流量控制器-LANTO朗拓MFC控制器

优点：

1、它是一种适用于新Cofflock标准的高性能型号
2、配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
3、采用常闭阀门，方向操作安全
4、采用隔膜阀，减少死体积
5、F.1. SCCM分钟流量支持（SR选项）
6、低压差兼容燃气控制（LP选项）

标准规格

流量范围：（N2转换20°C / 1 ATM）    1SCCM~20SLM（任意条件选择）
传感器方式：热绕组传感器
阀门方法：比例螺线管阀门（未通电时关闭）
控制范围：2~100％（F.S.）
响应速度：1秒内（±2％FS内）
准确性：±1％FS（15~35°C）
再现性：±0.2%F.S.
操作压差范围：F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G）   F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G）
选项：低压差规格（LP）可根据条件制造
可工作压力：300kPa（G）以下
耐压：980kPa（G）
He泄漏率（* 1）：1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度：0~50℃
允许环境湿度：10~90%RH（无结露）
气体接触材料：
车身SUS316L
隔膜SUS316
阀座PTFE
电气连接    ：Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
输入信号：0~5VDC（输入阻抗1MΩ以上）
流量输出信号：0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源：+15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA
重量：约1000g

（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。