日本进口KOFLOC3100高档质量流量计-LANTO朗拓MFC控制器

优点：

1、这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器，可确保高速响应和长期稳定性。
2、配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应。

标准规格：

流量范围：（N2转换20°C / 1 ATM）    1SCCM~20SLM（可选）
传感器方式：热绕组传感器
响应速度：1秒内
准确性：±1％FS（15~35°C）
再现性：在±0.2％FS（20°C）内
耐压：980kPa（G）
He泄漏率（* 1）：1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度：0~50℃
允许环境湿度：10~90%RH（无结露）
气体接触材料：车身SUS316L
密封材料FKM：（选件CR或NBR或Kallets）
电气连接：Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
流量输出信号：0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源：+15 VDC（±5％）100 mA      -15 VDC（±5％）100 mA
重量：约800g

（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10-6Pa・m3 / sec以下。