TKF超高纯调节器Rg1系列
TKF超高纯调节器Rg1系列专为用于工艺气柜的使用介质流而设计供气公司,设备制造商和半导体制造商;精确控制气体压力在或接近工艺工具时的流量在300 PSIaG进口处,可达250 SLPM。
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品名:调节器Rg1系列
品牌: TKF
阀体材质:316L不锈钢
产品信息:
·专为用于工艺气柜的使用介质流而设计供气公司,设备制造商和半导体制造商;
·精确控制气体压力在或接近工艺工具时的流量在300 PSIaG进口处,可达250 SLPM;
·所有内部表面均用10 Ra或5RA完成,以确保最小颗粒产生和诱捕。金属对金属隔膜密封加强了防泄漏的完整性;
·在课堂上完成装配、焊接、测试和最后清洗的每一步100间洁净室。
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