FUJIKIN富士金超高纯大流量阀系列

应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业，或者其他一些有超高纯流体要求的行业.

应用流体:设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体.

工作压力:低压(1MPa),高压(16.2MPa)

工作温度: -10℃-80℃

动作方式:手动和气动

气动阀有常开和常闭两种初始状态可选

连接方式:焊接、卡套、VCR等连接方式

表面处理:EP(标准)，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可选):5Ra,Ry＜0.7um.

接口尺寸:1/4”-3/4”

直接式隔膜阀，可对应高压气体官署认证品。

口径：1/4“/1/2” Cv值范围：0.25 ～1.5 最高使用压力范围：1Mpa ～20.5Mpa

使用流体温度范围：-10 ～40℃ EP级处理