UNI-LOK超高纯VCDLU系列隔膜阀
应用于半导体、太阳能、液晶面板制造等行业,或者其他一些有超高纯流体要求的行业。
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特点:
简洁的设计机体有小限度的死舱区;阀体材质符合SEMI F-20标准,超高纯度级别的半导体的生产应用材质规格为316L不锈刚流量小粒子间隔。
UNILOK独有特殊清洁工艺,指定清洁空间内,保证水分、氧气和碳氢化合物含量小通过UNILOK独有的电解抛光工艺实现沾湿区域的高光洁度。
Elgiloy牌隔膜材质有强耐久性以及耐腐蚀性,以便延长其循环寿命。
聚三氟氯乙烯阀座材质具有显著的耐化学性及耐热性。
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