PARKER派克汉尼汾超高纯氟聚合物(PFA)阀-22系列
PARKER派克汉尼汾UHP 含氟聚合物超净阀,其材质为PFA(含氟聚合物)或PTFE(聚四氟乙烯),适用于半导体液体环境应用,包括高浓度的酸和碱,明确的化学物质和浆料。
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物品信息:
这些新型的、清洁的、材质为含氟聚合物的手动和气动阀门大大提高了流量,并提供更好的增强型阀座密封,增强无泄漏性能,提供了更大的安全性。
它们旨在以更小的体积提供更高的流量。采用计算流体动力学软件来更大化通过这些阀门的流量。这类净化阀适用于半导体液体应用,包括高浓度酸和碱,明确的其他化学物质和浆液。
因其清洁度和拥有高度的耐化学腐蚀性能,对于其他严苛的市场应用,也可以使用这些阀门。市场:
• 半导体加工
• 化学品加工
• 分析设备
• 实验室特点与优势:
• 耐酸和浆料,循环使用寿命长
• 简洁的标识,真正的上锁挂牌设计(LOTO)
• 双点密封提供双倍的密封效能(专利申请中)
• 平滑的钻孔和可清扫的流道,大限度地减小颗粒捕获区域并有效减少截留区的形成
• 100%泄漏测试
• 符合SEMI-F57-0301标准关键应用:
• 化学机械抛光(CMP)浆料
• 超高纯度工艺
• 明确的半导体工艺化学物质
• 搅拌机系统
• 清洁系统
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