PARKER派克汉尼汾UHP 隔膜Y型阀 - 手动或气动 - 930Y系列

       派克930Y系列不锈钢阀体隔膜Y型阀,具有优异的泄漏完整性，高循环使用寿命和低颗粒产生，非常适用于UHP半导体应用。
       930Y系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计，可大限度地减少颗粒产生和截留，减少半导体应用中必不可少的工艺污染。该系列阀门的严格设计，控制阀座和隔膜应力，以提供稳定和免维护的使用寿命。
       930Y系列阀门润湿部件由特种金属制成，提供卓越的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™316L不锈钢材质。 Vericlean™是派克的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。
       930Y系列还提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮树脂（PEEK®）和聚酰亚胺（Vespel®）材质的阀座，可使930Y阀门与不同工艺流体相兼容。这些材料结合930Y系列严格的设计特点，给予了930Y系列产品在入口压力高达300 psig时高度的耐腐蚀性和理想的循环使用寿命。
        930Y系列提供多种流道配置，以适应上游，下游和通用路径吹扫清洗应用。内部更小化全流道体积设计用以提高清洗效果。该系列气动阀可以配置限位开关或接近开关，用以提供开 - 关位置指示。对于其他阀体构造，请参阅930系列（单阀体）和SM930系列（面板安装）。
        930Y系列阀门上内部（阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，以达到在苛刻的UHP应用中，保有其性能和稳定性。

市场：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点与优势：
• 电抛光表面光洁度：5微英寸（Ra）
• 高循环使用寿命（包括耐腐蚀性服务）
• 内部无弹簧和无螺纹设计可更大限度地减少颗粒产生和气体截留
• 全压力范围使用:从真空到300 psig（手动）和125 psig（气动）
• 内部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驱动，额定压力为75 psig

应用：
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱（VMB）