PARKER派克汉尼汾超高纯(UHP)高压隔膜Y型阀 945Y系列
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物品信息:
945Y系列隔膜阀将两个阀门组合成一个单独的紧凑型阀体,从而简化了将吹扫系统集成到气箱的系统集成,并提高了吹扫效率。从真空到3,500 psig,该系列产品抗漏能力出色、使用寿命长、生成杂质的少,使它成为特气柜、阀箱、上游生产线等高压超高纯半导体
应用的理想选择。945Y系列阀可提供多种手动操作器和气动(AOP)驱动。内部采用无弹簧和无螺纹设计,大幅减少杂质的生成和气体的卷入,清洁度高、过程污染少。这种阀还配有压杆,使其不需要螺纹组件或卡口操作就能够实现密封。
945Y系列应用在几种流量管道中,适应入口流量,出口流量,也可应用在普通管道进行吹扫应用。内部的死角体积被尽可能的减小以提高吹扫的有效性。这个系列的气动阀被设定成能够用限位开关来提供开-关的位置指示。
945Y阀生产于100级的洁净车间。内部(阀座)密封及金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏实验,以获得在高要求超高纯应用中出色的稳定表现。
市场需求:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药业
• 生物制药业
• 航空航天
• 工业
特点/优势:
• Y阀构造允许更大化的操作连接同时减少了空间的需求
• 10微英寸(Ra)电解抛光表面光洁度
• 高使用寿命(包括腐蚀性条件下)
• 内部无弹簧和无螺纹设计大幅减少了杂质的生成和气体的卷入
• 从真空到3,500 psig适用
• 内部泄漏率:≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 标称AOP驱动压力为75 psig
• Cv 0.25(HP,NC,NO,I),Cv 0.18(M),Cv 0.17放空阀应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 特气柜
• 阀箱