特气柜系统 Specialty Gas Cabinet System
特气柜系统是一种用于安全存储特种气体钢瓶，并将适当体积和压力的特种气体输送到分配系统(VMB和VMP)或主设备(POU、使用点)。
其高度灵活性以及多种连接选项，使其广泛应用于半导体、平板显示(FPD)、LED、新材料、太阳能电池制造工艺的系统。
LANTO特气柜系统有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。
其高度灵活性以及多种连接选项，使其广泛应用于半导体、平板显示(FPD)、LED、新材料、太阳能电池制造工艺的系统。
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