TKF超高纯金属气体扩散器SETAL系列

品   名：金属气体扩散器

品   牌:  TKF

阀体材质：316L不锈钢

特点：

1、316 L不锈钢元件；

2、高温应用；

3、体积小，冲击或振动可靠性高；

4、宽范围流量从60到300 SLPM；

5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；

6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；

7、5ra电抛光表面防止内部污染；

8、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；

9、100%氦泄漏试验。