TKF超高纯度在线高流量气体过滤器HH-H系列
TKF超高纯度在线高流量气体过滤器HH-H系列具有优良的惰性或腐蚀性气体应用性能的耐腐蚀黑色合金阀体,应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、LED、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。
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品 名:在线高流量气体过滤器
品 牌: TKF
阀体材质:316L不锈钢产品特征:
1、超高纯度在线高流量气体过滤器;
2、所有哈斯特洛结构;
3、高温动态压力应用;
4、紧凑的尺寸和可变的端部连接;
5、宽范围流量从100到800 SLPM;
6、具有优良的惰性或腐蚀性气体应用性能的耐腐蚀黑色合金阀体;
7、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降;
8、5ra电抛光表面防止内部污染;
9、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准;
10、100级制造、清洁及包装环境;
11、100%氦泄漏试验。
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