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TKF超高纯聚四氟乙烯气体过滤器ST-C系列

TKF超高纯聚四氟乙烯气体过滤器全氟聚合物过滤元件、电抛光316 L不锈钢外壳、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准、100%氦泄漏试验;半导体工艺气体。
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  • 品   名:聚四氟乙烯气体过滤器


    品   牌:  TKF


    阀体材质:316L不锈钢

     

    产品信息:

    1、超高纯度在线气体过滤器;


    2、全氟聚合物过滤元件;


    3、电抛光316 L不锈钢外壳;


    4、聚四氟乙烯(PTFE)元素具有优良的耐蚀性和高纯度的相容性;


    5、半导体工艺气体;


    6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降;


    7、5ra电抛光表面防止内部污染;


    8、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准;


    9、100级制造、清洁及包装环境;


    10、100%氦泄漏试验。


     

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