TKF超高纯聚四氟乙烯气体过滤器ST-C系列
TKF超高纯聚四氟乙烯气体过滤器全氟聚合物过滤元件、电抛光316 L不锈钢外壳、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准、100%氦泄漏试验;半导体工艺气体。
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品 名:聚四氟乙烯气体过滤器
品 牌: TKF
阀体材质:316L不锈钢产品信息:
1、超高纯度在线气体过滤器;
2、全氟聚合物过滤元件;
3、电抛光316 L不锈钢外壳;
4、聚四氟乙烯(PTFE)元素具有优良的耐蚀性和高纯度的相容性;
5、半导体工艺气体;
6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降;
7、5ra电抛光表面防止内部污染;
8、DI水清洗后用热氮烘焙,达到半导体工艺标准;
9、100级制造、清洁及包装环境;
10、100%氦泄漏试验。
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