TKF超高纯不锈钢气体过滤器SS-A系列
TKF超高纯不锈钢气体过滤器316 L不锈钢结构、紧凑的尺寸和可变的端部连接、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准。
品 名 ：气体过滤器
品 牌 : TKF
阀体材质：316L不锈钢
特征：
1、超高纯度在线气体过滤器；
2、316 L不锈钢结构；
3、高温动态压力应用；
4、紧凑的尺寸和可变的端部连接；
5、宽范围流量从15到300 SLPM；
6、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；
7、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；
8、5ra电抛光表面防止内部污染；
9、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；
10、100级制造、清洁及包装环境；
11、100%氦泄漏试验。
