TKF超高纯不锈钢气体过滤器SS-A系列

品   名 ：气体过滤器

品   牌 :  TKF

阀体材质：316L不锈钢

特征：

1、超高纯度在线气体过滤器；

2、316 L不锈钢结构；

3、高温动态压力应用；

4、紧凑的尺寸和可变的端部连接；

5、宽范围流量从15到300 SLPM；

6、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；

7、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；

8、5ra电抛光表面防止内部污染；

9、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；

10、100级制造、清洁及包装环境；

11、100%氦泄漏试验。