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ROTAREX罗达莱克斯高纯供气面板CMC供应版

ROTAREX罗达莱克斯高纯供气面板CMC供应版准备好安装所有预装在板上的组件;基于墨盒技术的最佳级内压力稳定性;墨盒技术提高了调节器的使用寿命,降低了所有权成本。应用于半导体行业。
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  • 关键优势:
    准备好安装所有预装在板上的组件;
    基于墨盒技术的最佳级内压力稳定性;
    墨盒技术提高了调节器的使用寿命,降低了所有权成本;
    可在安全阀和清洗机出口上安装集水管;
    还可以安装出口关闭阀。

     

    产品信息:
    入口连接:1/4 NPT     
    出口连接:1/4 NPT     
    O 型圈材料:三元乙丙橡胶-FPM     
    最高压力下的氦气泄漏率:10-8 mbar ℓ/s He mbar l/sec (He)     
    膜片材料:Hastelloy®     
    工作温度下限:-20℃,-4 °F
    工作温度上限:+60 ℃,140°F
    公称流量:Up to 30 Nm3/h (N2)     
    压力表连接:1/4 NPT     
    进口压力:230 / 300 bar,3335 PSI
    出口压力:10 / 16 / 35 / 50 bar,145 PSI
    氧气应用:只有黄铜和进口压力230bar

     

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