FUJIKIN富士金超高纯波纹管阀
FUJIKIN富士金超高纯波纹管阀适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。 该阀采用金属软管结构,具备高气密性、高耐用性、小型性、零死角等特性。
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应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业,或者其他一些有超高纯流体要求的行业.
应用流体:设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体.
工作压力:低压(1MPa),高压(16.2MPa)
工作温度: -10℃-80℃
动作方式:手动和气动
气动阀有常开和常闭两种初始状态可选
连接方式:焊接、卡套、VCR等连接方式
表面处理:EP(标准),10Ra,Ry<1.0um; UP (可选):5Ra,Ry<0.7um.
接口尺寸:1/4”-3/4”
口径:1/4”~1/2”
最高使用压力可达16.2Mpa
材质:SUS316L EP级处理
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