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PARKER派克超高纯隔膜阀 - 手动的或气动-955系列(可达到250 psig真空)

PARKER派克超高纯955 系列隔膜阀可以广泛应用于手动气动执行器。此系列阀门具有高稳定性,抗漏性,及洁净度;适用于超高压半导体行业的应用。
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  • 物品信息:
          派克955系列1-1/4英寸不锈钢阀体隔膜阀能够提供出色的抗漏能力,长久的使用寿命以及低杂质生成。这些优点使它成为高纯半导体应用的理想选择。
          955系列在过程流体的使用中采用无螺纹及弹簧连接,这种设计能够大限度的减少杂质的生成并且可以使过程减少污染,而这是半导体应用的关键。严格的阀门设计能够控制阀座及膜片的压力,从而提供稳定的免维护的使用寿命。
          这些材质组成了955系列严格的设计特征,为955系列提供了卓越的抗腐蚀性,在入口压力250 psig时达到更大的使用寿命。
          955系列阀的内部(阀座)密封和金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏测试,以获得其在高要求的超高纯应用中有出色稳定的表现。


    市场需求:
    • 半导体
    • 分析实验室
    • 制药业
    • 生物制药业
    • 航空航天
    • 工业


    特点/优势:
    • 5微英寸(Ra)电解抛光表面光洁度
    • 高使用寿命(包含腐蚀性条件下)
    • 内部无弹簧和无螺纹设计,更大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入
    • 从真空到250 psig适用
    • 内部泄漏率:≤ 1 x 10-9 scc/sec He
    • 外部泄漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec He
    • 标称AOP驱动压力为75 psig


    应用:
    • 腐蚀性和特殊气体
    • 半导体工具
    • 工具连接
    • 特气柜
    • 阀箱

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