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PARKER派克汉尼分超高纯度含氟聚合物(PFA)阀 - 22系列

PARKER派克超高纯UHP 含氟聚合物超净阀,其材质为PFA(含氟聚合物)或PTFE(聚四氟乙烯),适用于半导体液体环境应用,包括高浓度的酸和碱,明确的化学物质和浆料。
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  • 产品信息: 

           这些新型的、清洁的、材质为含氟聚合物的手动和气动阀门大大提高了流量,并提供更好的增强型阀座密封,增强无泄漏性能,提供了更大的安全性。
           它们旨在以更小的体积提供更高的流量。采用计算流体动力学软件来更大化通过这些阀门的流量。这类净化阀适用于半导体液体应用,包括高浓度酸和碱,
           明确的其他化学物质和浆液。因其清洁度和拥有高度的耐化学腐蚀性能,对于其他严苛的市场应用,也可以使用这些阀门。

     

    市场:
    • 半导体加工
    • 化学品加工
    • 分析设备
    • 实验室

     

    特点与优势:
    • 耐酸和浆料,循环使用寿命长
    • 简洁的标识,真正的上锁挂牌设计(LOTO)
    • 双点密封提供双倍的密封效能(专利申请中)
    • 平滑的钻孔和可清扫的流道,大限度地减小颗粒捕获区域并有效减少截留区的形成
    • 100%泄漏测试
    • 符合SEMI-F57-0301标准

     

    关键应用:
    • 化学机械抛光(CMP)浆料
    • 超高纯度工艺
    • 明确的半导体工艺化学物质
    • 搅拌机系统
    • 清洁系统

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