PARKER派克汉尼汾超高纯度（UHP）高流量分装阀（压力最高可达375 psig）700系列

产品说明
       派克700系列散装设计阀（带高流量波纹管）在超高纯度(UHP)气体分配和批量输送系统中提供卓越的性能和稳定性。
       700系列新颖的低重量设计降低了与市场上相似尺寸和流量能力阀门相比的安装成本。它具有优异的泄漏完整性和气体容纳能力，是用于对清洁度有严苛要求工艺的理想选择，包括微电子加工制造业。
       700系列散装设计阀比传统的球阀设计具有许多优点，包括更小化的颗粒产生和较低的内部和外部泄漏率。这减少了工艺气体污染，是对晶片/半导体生产至关重要的。
阀门的构造材料提高阀门的耐久性和耐工艺气体腐蚀性。本体由电抛光处理的316L不锈钢制成。1.5英寸及以上的阀门采用Inconel625合金的波纹管，这提供了卓越的强度和耐腐蚀性，所供的700系列，在工作压力高达375 psig时具有更长的循环使用寿命。
       700系列阀门是在100级洁净室内制作而成的。通过使用质谱仪，阀门都进行了内部及阀座部分氢气泄漏测试，以获得UHP应用中的性能和稳定性。

市场
·半导体晶圆厂·燃气公司

特点与优势:
·轻巧的设计降低了安装成本·尺寸可达6英寸
·工作压力上限为375 psig (250 psig 1英寸)·内部泄漏率:1 x 10-10 scc / sec He (额定值)·外部泄漏率:1x 10-10 scc / sec He
·可提供手动和气动(AOP）配置
·气动执行器选项:1英寸，1.5英寸和2英寸·可选进口和出口吹扫口
 

应用:
·燃气柜