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日本HORIBA S48 28/HMT质量流量控制器(流量计)-LANTO朗拓配气专家

日本HORIBAS48 32/HMT,S48 28/HMT型质量流量控制器(流量计)是在HORIBA STEC引进技术基础上,结合国内需要而研制的一种质量流量控制器产品。
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  • 产品名称:S48 32/HMT
    产品性能:
    流量规格:10mL/min-50L/min
    响应时间:2S以内
    精 度:±1%F.S.

    产品特点:

    ☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
    ☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。
    ☆阀体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。线路板、阀体、传感器等为重要零部件,均执行严格的入厂标准。
    ☆可任意角度安装。
    ☆电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。配合MT-52,MT-51系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

    使用范围:

    质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

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