Horiba热式气体质量流量计控制器MFC压力控制器 配气半导体燃料电池S600
Horiba S600气体流量控制器，应用于半导体，燃料电池系统等领域
产品特点：
* 数字通讯 PROFIBUS model，RS-485 model
* 小流量 10SCCM- 大流量 200SLM
* 橡胶密封，金属密封
* 长期稳定性： 零点长期稳定性，稳定流量控制性
* 高精度 ±1%S.P.（Set point Accuracy）
* 快速响应 1.5 sec以下（Typical 1.0sec）
* 全球品质
世界顶级的HORIBA STEC设计
关键部件进口
应用：
真空镀膜、Low-E玻璃，薄膜沉积系统，燃料电池系统，PV，生物制药反应器，净化空气，过程分析、分析流量测试，工业市场等。
