Horiba热式气体质量流量计控制器MFC压力控制器 配气半导体燃料电池S600

产品特点：

* 数字通讯 PROFIBUS model，RS-485 model

* 小流量 10SCCM- 大流量 200SLM

* 橡胶密封，金属密封  

* 长期稳定性： 零点长期稳定性，稳定流量控制性

* 高精度  ±1%S.P.（Set point Accuracy）

* 快速响应 1.5 sec以下（Typical 1.0sec）

* 全球品质

世界顶级的HORIBA STEC设计

关键部件进口

应用：

真空镀膜、Low-E玻璃，薄膜沉积系统，燃料电池系统，PV，生物制药反应器，净化空气，过程分析、分析流量测试，工业市场等。