七星华创 D07系列气体质量流量计控制器

产品类型：大流量型
流量量程：300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm
产品精度：±2％F.S.
耐压：3MPa
密封材料：氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
工作压差范围：＜0.2 MPa
漏率：1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式：双卡套1/2”(满量程≤1000slm),双卡套Φ10(满量程=300slm)