日本KOFLOC DF-550C全金属数字质量流量控制器-LANTO朗拓MFC控制器

优点：

1、通过新型螺线管改善响应速度，在所有流量区域实现1秒以内高速响应
2、不锈钢密封使其支持高活性气体
3、10SCCM~10SLM序列
4、可通过2个通信端口进行菊花链连接
5、配备RS-485通讯功能标准
6、支持RoHS.CE规格

标准规范：

传感器方式：热绕组传感器
阀门方式：比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体：N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
流量范围：10 SCCM~10 SLM
控制范围：2~100％（F.S.）
响应能力：总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.）L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度：±1.0%F.S.
再现性：±0.25%F.S.
工作压差：50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa）
最大入口压力：500kPa(G)
耐压：980kPa(G)
He泄漏率：1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度：
使用温度：5～50℃
精度保证温度：15～35℃
允许储存温度：-10～60℃
允许环境湿度：10～90%RH （无结露）
气体接触材料：SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co
电气连接：D-sub 9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号：0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
流量输出信号：0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
数字通信：使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600 bps）
所需电源（DC）：+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接头：相当于1/4 VCR
安装姿势：推荐水平方向
重量：约1100g