日本KOFLOC DF-200数字质量流量控制器-LANTO朗拓MFC控制器

优点：
1、高精度（±1％SP），高速响应（1秒内所有区域）
2、支持多量程和多种气体
3、标准配备通讯功能（RS485）
4、RoHS。符合CE标准

标准规范：

传感器方式：热绕组传感器
阀门方式：比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体：多气体：N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2）
流量范围：10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM
控制范围：2至100％（F.S.）
反应能力：总流量控制范围在1秒内（±2％F.S.）  L：50kPa~149kPa　H:150kPa~300kPa
精度：±1.0％SP（> 35％F。S.），±0.35％F。S.（≦35％F。S.）
再现性：±0.25％FS
工作压差：50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa）
最大入口压力：500kPa（G）
耐压：980kPa（G）
He泄漏率：1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
温度：允许周围温度    5～50℃
精度保证温度：15～35℃
允许储存温度：-10～60℃
允许环境湿度：10～90%RH （无结露）
气体接触材料：SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM