VCR接头的工作原理-半导体、高纯气路管道

       VCR是英文Vacuum Coupling Radius Seal（真空连接径向密封）前三个英文单词的缩写，它是美国Swagelok公司的金属面密封接头（Metal Gasket Face Seal Fitting）的注册商标。VCR接头最早用于宇航工业，目前在半导体光电制造行业普遍使用。可能是因为Swagelok公司的名气和影响力太大，VCR成了金属面密封接头的代名词。

VCR接头工作原理

      VCR接头是面密封接头（Face SealFitting）的一种，密封元件采用金属垫片。通过内、外螺纹互锁来压迫金属垫片，使垫片产生一定的变形，从而达到密封的效果。如图1、图2。

 
       还有一种比较典型的面密封接头是VCO接头，其工作原理同VCR一样，只不过密封元件为O型圈（材质通常为氟橡胶或氟塑料），目前用得很少。