配气柜(Gas Box)是半导体工艺设备的核心子系统，也是半导体供气系统关键组成部分，其核心功能在于实现工艺气体的精密控制与安全防护。
配气柜通过集成截止阀(手动/气动)、逆止阀、质量流量控制器(MFC)、压力调节控制器、高精密过滤器及特殊密封组件，构建起多重安全保障体系。
在工艺执行中，该系统可精准调控气体流量、压力、浓度、混合比例及反应时间等关键参数，同时满足半导体制造对超净环境、材料耐蚀性和介质安全性的严苛要求，有效防范毒性/可燃气体泄漏风险。

LANTO配气柜有各种不同规格，材料和配置，以满足您高纯和超高纯应用的要求。